锁相红外显微成像系统Luxet Thermo 100
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锁相红外显微成像系统Luxet Thermo 100

¥6,000,000.00

LUXET Thermo 100 是一款全国产化的锁相红外显微成像系统。配备了全自动运动系统、高灵敏度制冷型中波红外相机、广角镜头与大倍率显微镜头、高压源表,可以适用于晶圆、电路板等多种不同种类器件的失效点定位。

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中波制冷红外
电动XYZT
高倍率物镜
软件控制和分析系统

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≤0.1mK 热灵敏度
≤0.1μW 热点侦测能力
≤2μm高分辨率成像
3000V
Laser Mark

电极之间的短路
漏电和击穿
器件电阻异常
器件上的温度分布

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