测试测量综合服务商-深圳市万博仪器仪表有限公司
SPA6100半导体参数分析仪具有高精度、宽测量范围、 快速灵活、兼容性强等优势，产品可以同时支持DC电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)以及高流高压下脉冲式I-V特性的测试。
基于模块化的结构设计,可以帮助用户根据测试需要,灵活选配测量单元进行升级。产品支持最高1200V电压、100A大电流、1pA小电流分辨率的测量,同时检测10kHz至1MHz范围内的多频AC电容测量。
搭载专用半导体参数测试软件,支持交互式手动操作或结合探针台的自动操作,能够从测量设置、执行、结果分析到数据管理的整个过程，实现高效和可重复的器件表征；也可与高低温箱、温控模块等搭配使用，满足高低温测试需求。
特色优势
1、模块化配置：可灵活配置多种测量单元，预留升级空间，方便后期升级
2、图形化界面：内置常用器件模板，可直接调用，并且支持输出三种模式测试报告
3、自动化测试：内嵌低漏电矩阵开关，可自动切换测试电路，实现一键测试功能
4、夹具可定制：支持二极管、三极管、Si及SiC MOS管、IGBT等器件
5、多设备联动：可与探针台、温控模块等搭配使用，温控范围：室温~250℃
加快半导体材料、芯片器件设计以及先进工艺的开发验证
1、支持直流、脉冲I-V测试
2、内置专业矩阵开关，提高测试效率
3、可与多种设备联动使用：晶圆级芯片性能测试需要与探针台联动，可靠性评估会涉及常温以及高低温等条件
4、三同轴线缆提升小电流测试精度
图形化软件界面
配合普赛斯自主开发的专业测试软件，SPA6100可轻松实现半导体材料，器件的参数测试。系统内置常用器件模板，如二极管， 三极管，MOSFET。测试过程中，可直接调用，只需简单设置测试参数即可。软件支持测试数据显示，以及曲线绘制。测试完毕 后，可将数据以及曲线导出保存。
灵活可定制化的夹具方案
针对市面上不同封装类型的半导体器件产品，普赛斯提供整套夹具解决方案。夹具具有低阻抗、安装简单、种类丰富等特点，可 用于二极管、三极管、场效应晶体管、IGBT、SiC MOS、GaN等单管，模组类产品的测试；也可与探针台连接，实现晶圆级芯片 测试。
不同封装类型的夹具
低压直流I-V源测量单元
| 型号 | 精度 | 最大电压量程 | 最小电压量程 | 最小电压分辨率 | 最大电流量程 | 最小电流量程 | 最小电流分辨率 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-S100 | 0.1% | 30V | 300mV | 30μV | 1A | 100nA | 10pA |
| SPA-S200 | 0.1% | 100V | 300mV | 30μV | 1A | 100nA | 10pA |
| SPA-S300 | 0.1% | 300V | 300mV | 30μV | 1A | 100nA | 10pA |
| SPA-S100B | 0.03% | 30V | 300mV | 30μV | 3A | 100nA | 10pA |
| SPA-S200B | 0.03% | 100V | 300mV | 30μV | 3A | 100nA | 10pA |
| SPA-S300B | 0.03% | 300V | 300mV | 30μV | 3A | 100nA | 10pA |
低压脉冲I-V源测量单元
| 型号 | 精度 | 最大电压量程 | 最小电压量程 | 最小电压分辨率 | 最大电流量程 | 最小电流量程 | 最小电流分辨率 | 最小脉冲宽度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-P100 | 0.1% | 30V | 300mV | 30μV | 1A（直流）/10A（脉冲） | 100nA | 10pA | 200μs |
| SPA-P200 | 0.1% | 100V | 300mV | 30μV | 1A（直流）/10A（脉冲） | 100nA | 10pA | 200μs |
| SPA-P300 | 0.1% | 300V | 300mV | 30μV | 1A（直流）/10A（脉冲） | 100nA | 10pA | 200μs |
高压I-V源测量单元
| 型号 | 精度 | 最大电压量程 | 最小电压量程 | 最小电压分辨率 | 最大电流量程 | 最小电流量程 | 最小电流分辨率 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-E100 | 0.1% | 1200V | 100V | 10mV | 100mA | 1μA | 100pA |
高流I-V源测量单元
| 型号 | 精度 | 最大电压量程 | 最小电压量程 | 最小电压分辨率 | 最大电流量程 | 最小电流量程 | 最小电流分辨率 | 最小脉冲宽度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-HCP100 | 0.1% | 50V | 300mV | 30μV | 30A（直流）/30A（脉冲） | 100nA | 10pA | 80μs |
| SPA-HCP200 | 0.1% | 50V | 300mV | 30μV | 30A（直流）/30A（脉冲） | 100nA | 10pA | 80μs |
| SPA-HCP300 | 0.1% | 100V | 300mV | 30μV | 30A（直流）/100A（脉冲） | 100nA | 10pA | 80μs |
电容测量单元
| 型号 | 测试频率 | 测试点数 | 频率分辨率 | 频率输出精度 | 基本精度 | 内部直流偏置信号 | 可测参数与量程 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPA-C100 | 10Hz-1MHz | 可编程 | 5 位 | ±0.1% | ±0.5% | 10mV to 2V (1mV 分辨率) / 100uA-20mA | ｜Z｜ , R, X 0.001mΩ-99.999MΩ
｜Y｜ , G, B 0.1nS-99.999S Cs Cp 0.01pF-9.9999F |
*以上规格如有更新，恕不另行通知。
● 30μV-1200V，1pA-100A 宽量程测试能力
● 测量精度高，全量程下可达0.03%
● 内置标准器件测试程序，直接调用测试简便
● 自动实时参数提取、 数据绘图、分析函数
● 在CV和IV测量之间快速切换而无需重新布线
● 提供灵活的夹具定制方案，兼容性强
● 免费提供上位机软件及SCPI指令集
1、纳米材料：电阻率、载流子迁移率、载流子浓度、霍尔电压
2、柔性材料：拉伸/扭转/弯折、V-t、I-t、R-t、电阻率、灵敏度
3、IC芯片：O/S、IIH/IIL、VOH/VOL、I/O Pin IV曲线
4、分立器件：BVDSS/IGSS/IDSS/Vgs(th)/Rdson、Ciss/Coss/Crss、输出/转移/CV曲线等
5、光电探测器：暗电流ID、结电容Ct、反向击穿电压VBR、响应度R
6、钙钛矿电池：VOC、ISC、Pmax、Vmax、Imax、FF、η、Rs、Rsh
7、LD/LED/OLED：Iop、Popt、VF、Ith、VR、IR、LIV/IVL曲线
8、传感器/忆阻器：V-t、I-t、R-t、直流/脉冲/交流IV测试
